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红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布

张福贵

张福贵. 红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布[J]. 电子与信息学报, 1988, 10(6): 563-567.
引用本文: 张福贵. 红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布[J]. 电子与信息学报, 1988, 10(6): 563-567.
Zhang Fugui. STUDY OF MORPHOLOGICAL DISTRIBUTION OF DEFECTS IN GaAs WAFERS BY INFRARED DIGITAL IMAGE PROCESSING[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1988, 10(6): 563-567.
Citation: Zhang Fugui. STUDY OF MORPHOLOGICAL DISTRIBUTION OF DEFECTS IN GaAs WAFERS BY INFRARED DIGITAL IMAGE PROCESSING[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1988, 10(6): 563-567.

红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布

STUDY OF MORPHOLOGICAL DISTRIBUTION OF DEFECTS IN GaAs WAFERS BY INFRARED DIGITAL IMAGE PROCESSING

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    出版历程
    • 收稿日期:  1986-12-17
    • 修回日期:  1988-06-05
    • 刊出日期:  1988-11-19

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