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扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜(SOI)的实验研究

林世昌 张燕生 张国炳 王阳元

林世昌, 张燕生, 张国炳, 王阳元. 扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜(SOI)的实验研究[J]. 电子与信息学报, 1995, 17(3): 298-303.
引用本文: 林世昌, 张燕生, 张国炳, 王阳元. 扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜(SOI)的实验研究[J]. 电子与信息学报, 1995, 17(3): 298-303.
Lin Shichang, Zhang Yansheng, Zhang Guobing, Wang Yangyuan. THE GROWTH OF MONOCRYSTALLINE SILICON THIN FILM ON INSULATOR (SOI) BY SCANNING ELECTRON BEAM[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1995, 17(3): 298-303.
Citation: Lin Shichang, Zhang Yansheng, Zhang Guobing, Wang Yangyuan. THE GROWTH OF MONOCRYSTALLINE SILICON THIN FILM ON INSULATOR (SOI) BY SCANNING ELECTRON BEAM[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1995, 17(3): 298-303.

扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜(SOI)的实验研究

THE GROWTH OF MONOCRYSTALLINE SILICON THIN FILM ON INSULATOR (SOI) BY SCANNING ELECTRON BEAM

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    出版历程
    • 收稿日期:  1993-10-08
    • 修回日期:  1994-04-05
    • 刊出日期:  1995-05-19

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