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多能量离子注入的研究

王德宁 王渭源

王德宁, 王渭源. 多能量离子注入的研究[J]. 电子与信息学报, 1986, 8(3): 204-208.
引用本文: 王德宁, 王渭源. 多能量离子注入的研究[J]. 电子与信息学报, 1986, 8(3): 204-208.
Wang Dening, Wang Weiyuan. THE INVESTIGATION OF MULTI-ENERGY IMPLANTATION[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1986, 8(3): 204-208.
Citation: Wang Dening, Wang Weiyuan. THE INVESTIGATION OF MULTI-ENERGY IMPLANTATION[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1986, 8(3): 204-208.

多能量离子注入的研究

THE INVESTIGATION OF MULTI-ENERGY IMPLANTATION

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    出版历程
    • 收稿日期:  1984-08-22
    • 修回日期:  1985-06-11
    • 刊出日期:  1986-05-19

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