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砷化镓气相掺硫外延和亚微米薄层的制备

彭瑞伍 孙裳珠 沈松华

彭瑞伍, 孙裳珠, 沈松华. 砷化镓气相掺硫外延和亚微米薄层的制备[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(1): 16-23.
引用本文: 彭瑞伍, 孙裳珠, 沈松华. 砷化镓气相掺硫外延和亚微米薄层的制备[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(1): 16-23.
Peng Rui-Wu, Sun Shang-Zhu, Shen Song-Hua. THE SULPHUR INCORPORATION AND THE GROWTH OFSUBMICRON THIN FILM IN GaAs VAPOR PHASEEPITAXY SYSTEM[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1983, 5(1): 16-23.
Citation: Peng Rui-Wu, Sun Shang-Zhu, Shen Song-Hua. THE SULPHUR INCORPORATION AND THE GROWTH OFSUBMICRON THIN FILM IN GaAs VAPOR PHASEEPITAXY SYSTEM[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1983, 5(1): 16-23.

砷化镓气相掺硫外延和亚微米薄层的制备

THE SULPHUR INCORPORATION AND THE GROWTH OFSUBMICRON THIN FILM IN GaAs VAPOR PHASEEPITAXY SYSTEM

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    出版历程
    • 收稿日期:  1981-04-28
    • 刊出日期:  1983-01-19

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