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用紫外光表面处理方法清除砷化镓表面的碳氢化合物

谈凯声 李建平

谈凯声, 李建平. 用紫外光表面处理方法清除砷化镓表面的碳氢化合物[J]. 电子与信息学报, 1986, 8(2): 155-157.
引用本文: 谈凯声, 李建平. 用紫外光表面处理方法清除砷化镓表面的碳氢化合物[J]. 电子与信息学报, 1986, 8(2): 155-157.
Tan Kaisheng, Li Jianping. UV SURFACE CLEANING METHOD FOR REMOVING HYDROCARBONS FROM GaAs SURFACE[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1986, 8(2): 155-157.
Citation: Tan Kaisheng, Li Jianping. UV SURFACE CLEANING METHOD FOR REMOVING HYDROCARBONS FROM GaAs SURFACE[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 1986, 8(2): 155-157.

用紫外光表面处理方法清除砷化镓表面的碳氢化合物

UV SURFACE CLEANING METHOD FOR REMOVING HYDROCARBONS FROM GaAs SURFACE

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    出版历程
    • 收稿日期:  1985-02-07
    • 修回日期:  1985-08-29
    • 刊出日期:  1986-03-19

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