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基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

廖斌 张少君 朱守正

廖斌, 张少君, 朱守正. 基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真[J]. 电子与信息学报, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
引用本文: 廖斌, 张少君, 朱守正. 基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真[J]. 电子与信息学报, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
Liao Bin, Zhang Shao-jun, Zhu Shou-zheng. Modeling and Simulation of 2.45GHz Low-Power Microwave Plasma Source Based on a Microstrip Split-Ring Resonator[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
Citation: Liao Bin, Zhang Shao-jun, Zhu Shou-zheng. Modeling and Simulation of 2.45GHz Low-Power Microwave Plasma Source Based on a Microstrip Split-Ring Resonator[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263

基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
基金项目: 

国家自然科学基金(60471015)资助课题

Modeling and Simulation of 2.45GHz Low-Power Microwave Plasma Source Based on a Microstrip Split-Ring Resonator

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    出版历程
    • 收稿日期:  2006-03-07
    • 修回日期:  2006-09-26
    • 刊出日期:  2007-10-19

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