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基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

廖斌 张少君 朱守正

廖斌, 张少君, 朱守正. 基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真[J]. 电子与信息学报, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
引用本文: 廖斌, 张少君, 朱守正. 基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真[J]. 电子与信息学报, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
Liao Bin, Zhang Shao-jun, Zhu Shou-zheng. Modeling and Simulation of 2.45GHz Low-Power Microwave Plasma Source Based on a Microstrip Split-Ring Resonator[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
Citation: Liao Bin, Zhang Shao-jun, Zhu Shou-zheng. Modeling and Simulation of 2.45GHz Low-Power Microwave Plasma Source Based on a Microstrip Split-Ring Resonator[J]. Journal of Electronics and Information Technology, 2007, 29(10): 2512-2516. doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263

基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

doi: 10.3724/SP.J.1146.2006.00263
基金项目: 

国家自然科学基金(60471015)资助课题

Modeling and Simulation of 2.45GHz Low-Power Microwave Plasma Source Based on a Microstrip Split-Ring Resonator

  • 摘要: 该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。
  • Bilgic A M, Engel U, Voges E, Kuckelheim M, and Broekaert J A C. A new low-power microwave plasma source using microstrip technology for atomic emission spectrometry[J], Plasma Sources Sci. Technol., 2000, 9(1): 1-4.[2]Iza F and Hopwood J A. Low-power microwave plasma source based on a microstrip split-ring resonator[J].IEEE Trans. on Plasma Science.2003, 31(4):782-787[3]Bilgic A M, Voges E, Engel U, and Broekaert J A C. A low-power 245GHz microwave induced helium plasma source at atmospheric pressure based on microstrip technology[J]., J. Anal. Atomic Spectrometry.2000, 15(6):579-580[4]Iza F and Hopwood J. Split-ring resonator microplasma: microwave model, plasma impedance and power efficiency [J].Plasma Sources Sci. Technol.2005, 14(2):397-406
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-03-07
  • 修回日期:  2006-09-26
  • 刊出日期:  2007-10-19

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